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洁净厌氧高温气氛炉

  • 更新时间:  2020-06-08
  • 产品型号:  DTN430C/630C/450C/650C
  • 简单描述
  • DTN430C/630C/450C/650C洁净厌氧高温气氛炉洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉,主要应用于固化半导体晶圆等。
详细介绍

DTN430C/630C/450C/650C洁净厌氧高温气氛炉工作温度DTN430C/630C:360℃、DTN450C/650C:500℃,洁净度100级,氧浓度20ppm,DTN430C内容积为91L,DTN630C内容积为216L,DTN450C内容积为91L,DTN650C内容积为216L。


●洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉,主要应用于固化半导体晶圆等
● 高工作温度 360℃和 500℃、洁净度 100 级、氧浓度低于20ppm,主要应用于固化半导体晶圆(光刻胶 PI、PBO 固化)、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等
● 采用耐热高性能高效过滤器,箱内洁净度始终保持在 100 级,可在洁净的环境下进行高温烘烤
● 高气密性的压力箱构造,氧浓度到达时间短,N2 消耗量极低
● 通过磁密封保持高气密性,并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响
● 可实现快速升温和降温,升降温速率可调节
● 标准装备有废液回收装置,对气体进行冷却回收
安全性
● 拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电漏电保护开关等安装装置

DTN430C/630C/450C/650C洁净厌氧高温气氛炉的技术规格

 


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