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厌氧高温气氛炉

  • 更新时间：  2020-07-24
  • 产品型号：  C1-007/C1-008
  • 简单描述
  • C1-007/C1-008厌氧高温气氛炉C1-007用于电子无器件高温处理工艺，C1-008用于光刻工艺后段，光刻胶固化。
详细介绍

日本雅玛拓C1-007/C1-008厌氧高温气氛炉
C1-007（温度600℃、氧浓度20ppm）
● 用途：电子无器件高温处理工艺
● 高工作温度360℃和600℃、氧浓度20ppm以下
● 程序运转功能，有自动/手动两种操作模式
● 快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式
● 配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等
● 在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置


C1-008（温度500℃、洁净度100级、氧浓度20ppm）
● 用途：光刻工艺后段，光刻胶固化
● 高工作温度360℃和600℃、洁净度100级、氧浓度20ppm以下
● 程序运转功能，有自动/手动两种操作模式
● 快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式
● 配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等全不锈钢材质
● 在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置

日本雅玛拓C1-007/C1-008厌氧高温气氛炉技术规格

型号C1-007
温度范围 室温+30～360℃ 
室温+50～600℃
温度分布精度±4.0℃（at 360℃） 
±8.0℃（at 600℃）
温度上升时间60min（室温→360℃） 
90min（室温→600℃）
温度下降时间 90min（360℃→50℃） 
120min（600℃→50℃）
氧浓度20ppm以下
氧浓度下降时间约45分钟
运转功能定值运转、程序运转
装备氮气导入装置、水冷装置、差压计等
内尺寸 W600×D600×H600mm
电源3相 AC380V
型号C1-008
温度范围 室温+30～360℃ 
室温+50～500℃
温度分布精度±4.0℃（at 360℃） 
±8.0℃（a500℃）
温度上升时间60min（室温→360℃）
90min（室温→500℃）
温度下降时间90min（360℃→50℃）
120min（500℃→50℃）
氧浓度 20ppm以下
氧浓度下降时间约45分钟
洁净度100级
装备氮气导入装置、水冷装置、差压计等
内尺寸W600×D600×H600mm
电源 3相 AC380V 

 


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