厌氧高温气氛炉
日本雅玛拓C1-007/C1-008厌氧高温气氛炉
C1-007(温度600℃、氧浓度20ppm)
● 用途:电子无器件高温处理工艺
● 高工作温度360℃和600℃、氧浓度20ppm以下
● 程序运转功能,有自动/手动两种操作模式
● 快速升温、降温,降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式
● 配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等
● 在安全方面,配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置
C1-008(温度500℃、洁净度100级、氧浓度20ppm)
● 用途:光刻工艺后段,光刻胶固化
● 高工作温度360℃和600℃、洁净度100级、氧浓度20ppm以下
● 程序运转功能,有自动/手动两种操作模式
● 快速升温、降温,降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式
● 配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等全不锈钢材质
● 在安全方面,配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置
日本雅玛拓C1-007/C1-008厌氧高温气氛炉技术规格
型号 | C1-007 |
温度范围 | 室温+30~360℃ 室温+50~600℃ |
温度分布精度 | ±4.0℃(at 360℃) ±8.0℃(at 600℃) |
温度上升时间 | 60min(室温→360℃) 90min(室温→600℃) |
温度下降时间 | 90min(360℃→50℃) 120min(600℃→50℃) |
氧浓度 | 20ppm以下 |
氧浓度下降时间 | 约45分钟 |
运转功能 | 定值运转、程序运转 |
装备 | 氮气导入装置、水冷装置、差压计等 |
内尺寸 | W600×D600×H600mm |
电源 | 3相 AC380V |
型号 | C1-008 |
温度范围 | 室温+30~360℃ 室温+50~500℃ |
温度分布精度 | ±4.0℃(at 360℃) ±8.0℃(a500℃) |
温度上升时间 | 60min(室温→360℃) 90min(室温→500℃) |
温度下降时间 | 90min(360℃→50℃) 120min(500℃→50℃) |
氧浓度 | 20ppm以下 |
氧浓度下降时间 | 约45分钟 |
洁净度 | 100级 |
装备 | 氮气导入装置、水冷装置、差压计等 |
内尺寸 | W600×D600×H600mm |
电源 | 3相 AC380V |