日本雅玛拓*PR500/510桶型等离子灰化机高频输出50~500W，反应腔Φ215×305mm
PR500：手动控制 PR510：自动触摸屏控制 
低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能 及触摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。
用途
●去除光刻胶
●部品清洗
●界面活性处理
●微研磨
●硅晶圆，玻璃基板对应
特征
●大口径（Φ215mm）石英反应腔
●小型一体化设计
●操作简单的触摸屏方式（PR510型）

PR500/510雅玛拓桶型等离子灰化机技术规格

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