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论平行光表面检查灯能在洁净室中发现微粒及划痕
浏览次数:37发布日期:2021-12-22

洁净室的目的为了满足某些生产(医疗)活动的需求,将室内环境中的微粒数量控制在一定范围的一种特殊环境。空气中有很多微粒,这些微粒的存在有可能对生产和医疗活动造成干扰和损伤。尽管洁净室非常干净,但是,洁净室中仍然存在极少量的灰尘。除了空气对流外,这些灰尘可能来自消耗品(例如手套和口罩)或由人体产生。(例如来自皮肤表面的死皮细胞)。

很多行业的元器件,如半导体元器件、光学镜头、液晶面板等在制造过程中,空气中不允许有过多的灰尘颗粒;对于制造中的某些步骤,例如半导体,在清洗、载流子传输操作或涂覆光刻胶的过程中,由于空气中的颗粒会影响产品质量并造成重大损失。

所以在洁净室中进行微粒检查的工作是必要的!

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在洁净室中,一些没有气流的区域(死点)会慢慢积聚落尘。如果空气受到干扰,这些空气中的微尘会直接落到产品或工作人员身上,而不会被粒子计数器感应到。这些灰尘颗粒不易在洁净室内的空气中漂浮。当它们因静电或极性聚集在一起时,很难将粘性灰尘吹到排气口。

对于这种吸附的颗粒,不仅空气过滤器的收集效率低,而且粒子计数器也难以感应,而且这种颗粒一旦附着在重要的表面(如光罩)上,可能会影响产量。(路径越细,影响越大。)

如果操作者在一般的白光下很难从背景中分辨出灰尘颗粒,就无法有效地清洁灰尘,从而造成损失。

那么,该怎么样观察到样品中的微粒和划痕呢?

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因此,本文推荐使用LUYOR-3320 LED平行光表面检查灯,有白光,黄光,绿光等三种选择。

如果可以使用特定波长的检测工具或小角度的平行光检查灯LUYOR-3320,就能有效检测产品上的粘尘,从而降低不良率。

此款透镜将led发射出的圆形光斑更改为线条性输出,透镜输出上下角度为8度,左右角度为60度角度,配合10颗大功率led能够输出的光斑为30x1.5cm,光束集中,不照射检查人员眼睛,能够满足长时间检查工作。配合台式支架(台式支架另购),上下高度可以调整,也可以多台并列安装,检查各种尺寸的大屏幕。

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上图为LUYOR-3320平行光表面检查灯的绿光用于检查wafe的particle

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上图为LUYOR-3320白色光源平行光表面检查灯用于检查wafe的particle

首先让我们再来看看LED平行光表面检查灯LUYOR-3320还有哪些应用范围?

触控面板、太阳能基板、LED 基板、LCD 基板、贴合玻璃、光学。

镜头表面、硅晶圆抛光面、扩散板…等刮伤与粉尘检查。

各式表面处理后检查:

阳极后表面、电镀表面、汽车烤漆表面、塑料外壳表面镀膜层、手机镜面外壳

各式光电产品表面检查:

玻璃表面镀膜、触控面板镀膜、蓝宝石基板、光罩(盒)、半导体晶圆、LCD面板、太阳能基板、彩色滤光片、各种Film材

各式研磨抛光表面:

金属加工件、塑料加工件、玻璃表面、石英表面、蓝宝石表面、陶瓷基板表面。

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