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大容量等离子清洗机

  • 更新时间:  2020-06-15
  • 产品型号:  V1000/1000X/1000XS
  • 简单描述
  • V1000/1000X/1000XS大容量等离子清洗机可变更电极构造提高等离子效果。搭载高精度适配器,高性能RF 电源。
详细介绍

日本雅玛拓V1000/1000X/1000XS大容量等离子清洗机 高频输出 100~1,000W(V1000)/100~1,000W&1,500W(V1000X/1000XS)
电极尺寸 280×280mm(V1000) 300×300mm(V1000X) 400×375mm(V1000XS)
13.56MHz 高频输出的离子清洗机,搭载 RIE·DP 双模式。
使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式高性能型号,调取数据简单,以电子材料为中心,可对应多种用途。


特征
● 可变更电极构造提高等离子效果。
● 搭载高精度适配器,高性能RF 电源。
● 可根据需求规格提供定制。
用途
● 硅晶圆的灰化及蚀刻
● 基板表面污垢处理
● IC/LED封装、BGA/CSP基板处理
● 半导体相关部品的电子材料的干式清洗
● 自然氧化膜·有机物去除
● 界面活性处理
● 表面污染物去除

V1000/1000X/1000XS大容量等离子清洗机的技术规格

其他产品介绍:YSP600U/2KU等离子清洗机
高频输出 YSP600U:600W YSP2KU:2000W 反应台尺寸 YSP600U:300×300mm YSP2KU:600×600mm
样品传输系统为模块式,便于组合。
用途
● 提高各种材料的粘接性、表面改质处理
● 清洗各类基板。
● 电子部品、材料表面改质。
● 去除有机物和自然氧化膜。
特点
● 体积小,节省空间。
● 选用小型腔体,反应效率高。
● 更容易嵌入生产线使用。
● 可通过操作面板自由切换等离子模式。
● 配备冷却反应台。


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